靶材的分类
文章作者：广东918博天堂科技
阅读：1321
发布时间：2024-01-12
分类方法 | 应用实例 |
应用领域 | 半导体膜、介质膜、显示膜、光学膜、装饰膜 |
材质 | 金属靶材(A1、Sn、Zn、Ti、Ni Cr、Zr、Ir、Ag、Au、Pt、Hf、Nb、Cu、W、Mo、To等) |
合金靶材(金钢、不锈钢、铜锡、镍铬、钛铝、钛错、钛金、金银、金镍、金、钨钼等) | |
磁性靶材(纯铁、坡莫合金等) | |
氧化物靶材(氧化钢锡陶瓷等) | |
靶材形状 | 板状、管状、线状、棒状 |
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