该化学气相沉积设备真空镀膜腔室采用独立双层水冷结构，冷却高效均匀，结构安全稳定；双门及多观察窗多扩展接口设计，方便外接红外测温、光谱分析、视频监控、热电偶等辅助外设。先进的设计理念使设备的日常检修与维护、配置变更与升级变得轻松简单，有效降低使用和升级成本。

设备特点：

1.设备的充气组件主要包括质量流量计、电磁阀、混气罐，保障工艺气体流量的精确控制，不同气体均匀混合、安全隔离，并且可选载气系统组件，用于液态气源的使用，方便广泛的液态碳源的个性化选用，或合成导电金刚石电极液态硼源等的安全使用。

2.抽气组件配备静音高效旋片式真空泵，以及快速满足高真空本底环境的涡轮分子泵系统。真空测量采用电阻规与电离规搭配的复合真空计，以及可大范围测量不同工艺气体压力的电容薄膜规系统。沉积气压的控制采用高精度比例调节阀全自动控制。

3.冷却水组件配备多路水压、流量、温度的测量及软件自动监控，不同冷却部件相互独立，方便快速诊断故障，所有支路拥有独立的阀门开关，安全高效。

4.电气控制组件采用大尺寸人机界面液晶屏，配合PLC全自动控制，方便工艺配方编辑和导入；图形化曲线直观显示各参数变化及数值，设备及工艺参数自动记录存档，方便问题追溯及数据统计分析。

5.工件架组件配置伺服电机控制基片台升降，可选石墨或紫铜基片台，温度通过热电偶进行测量。

6.机架组件根据客户需求可整体或分体式设计，满足客户搬运特殊要求。

7.封板组件整体美观大方，设备不同功能模块区域的封板可独立快速拆装或打开关闭，使用十分方便。

热丝化学气相沉积设备适用于沉积生长金刚石材料，包括薄膜涂层及自支撑厚膜、微晶及纳米晶金刚石、导电金刚石等。主要应用于硬质合金刀具的耐磨保护涂层，硅及碳化硅等半导体材料，器件的散热涂层，掺硼导电金刚石电极电解水产生臭氧消毒或处理污水等。