将钽丝(钨丝)加热至 2300K 以上，钽丝呈白炽状态，可发射大量热电子流，向热丝弧枪室通入氩气，热电子流把氩气电离再次增加等离子体电子流密度。从热丝弧枪室向阳极发射出高密度电子流弧柱，弧电压为 50V 左右，弧电流为150~200A。

2.加热工工件

将弧电源正极接工件，弧光电子流射向工件，轰击加热工件

3.清洗工件

将弧电源正极接坩埚周围的辅助阳极，工件接偏压电源负极。热丝弧发射的电子流在射向辅助阳极的过程中电离氩气，用离子轰击清洗工件。

4.镀 TiN薄膜

将弧电源正极接坩埚，通人氮气。弧光电子流射向坩埚内的金属锭上，把金属加热蒸发。金属蒸气原子与通入的氮气都被弧光电子流电离，得到高密度金属离子、氮离子、金属活性原子、氮的活性原子和活性基团，它们到达工件表面化合反应生成 TiN 薄膜。

5.调整线圈电流

在工件的加热、清洗和镀膜过中，需要不断调整电磁线圈的电流来改变电的旋转半径。