1.弧光电子流的特点

    弧光放电产生的弧光等离子体中的电子流、离子流、高能中性原子的密度比辉光放电高得多。在镀膜空间内有更多的气体离子和金属电离、受激发的高能原子及各种活性基团，它们在镀膜过程中的加热、清洗、镀膜阶段发挥了重要作用。弧光电子流的作用形式和离子束不同，不全是汇聚成“束”，多数是发散状态，所以称之为弧光电子流。因为弧光电子流向阳极运动，所以弧电源的正极接在哪里，弧光电子流就射向哪里，阳极可以是工件、辅助阳极、坩埚等。

2.产生弧光电子流的方法

(1)气体源产生弧光电子流：空心阴极弧光放电、热丝弧弧光放电的弧电流都可以达到200A 左右，弧电压为 50~70V。

(2)固体源产生弧光电子流：阴极电弧源，包括小弧源、柱弧源、矩形平面大弧源等。每个阴极电弧源放电的弧电流为 80~200A，弧电压为 18~25V。

    两种弧光放电等离子体中的高密度、低能量的弧光电子流与气体、金属膜层原子可以产生剧烈的碰撞电离，获得更多的气体离子、金属离子和各种高能活性原子和活性基团，从而提高了膜层离子整体的活性。

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