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空心阴极硬质镀膜设备的技术原理是什么?

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发布时间:2022-05-07
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离子镀指于真空室中,通过被蒸发物质离化或气体放电的同时,受气体离子或蒸发物质离子轰击的影响,而使得其反应物亦或蒸发物质沉在基材上。而空心阴极硬质镀膜设备的技术原理是空心阴极离子镀,是一种空心阴极放电沉积技术。空心阴极镀膜设备.jpg

关于空心阴极放电沉积的原理:空心阴极放电沉积技术是利用热阴极放电生成等离子体束,阴极是空心钽管。阴极与辅助阳极相距较近,也就是引燃弧光放电的两极。

空心阴极放电沉积枪引燃方式有两种:

 1、利用高频电场施加于阴极钽管道,使阴极钽管氩气电离成氩离子进而引发阴极钽管不断受氩离子轰击,直到受热升温至电子发射的最低温标准而生成等离子电子束;

 2、于辅助阳极和阴极钽管间施加大约300V的直流电压,阴极钽管依旧通入氩气,在为1Pa-10Pa氩气气压中,辅助阳极和阴极钽管出现辉光放电现象,生成的氩离子轰击不断轰击阴极钽管,直至2300K-2400K的温度,阴极钽管发射大量电子,才会从“辉光放电”改换成“弧光放电”,这时候的电压低至30V-60V,那么只要在阴阳两极间接通电源,就能生成等离子体电子束。

阴极镀膜设备

1、改进原来的枪体结构,由原来的最大电流230A提升到280A。

2、改进原有的冷却系统结构,由原来的4℃冰水机冷却改进到室温冷却水冷,为用户节约了电费。

3、改进原有的机械传动结构,改为磁流体传动结构,高温时不会卡死转架。

4、有效镀膜区域¢650X1100,可以容纳750 X 1250X600 的超大模具和齿轮厂家的超长拉刀,具有非常大的容积。

空心阴极离子镀膜机主要应用于刀具、模具、大型镜面模、塑胶 ;  模、滚齿刀等产品的镀制空心阴极离子镀膜机主要应用于刀具、模具、大型镜面模、塑胶   模、滚齿刀等产品的镀制。


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