现阶段市场上大部分光学类镀膜产品主要是使用电子束蒸发光学机生产，占据大部分市场。其镀膜产品纯镀较高，产量低，装载量少，单炉生产时间长，成本较高，满足不了现在的工业需求。我司成功研发出 SOM 系列设备，是一款全自动化的磁控溅射镀光学膜设备。设备具有自动化程度高、载量大、产能大、稳定性高等优点。设备镀制膜层性能优越，可镀制多种/多重精密光学膜。

设备特点：

1.智能化+全自动控制

SOM 系列设备是一台带回传功能的自动化闭环生产线镀膜设备，并配备可分隔的进出料腔，

进料与出料同时自动进行；外设配备机械手上下载片。自动化程度高，生产效率快，大幅度

减少人工成本。

2.膜层性能优越

①镀多种/多重精密光学膜: 如 AR 膜、AS/AF、高反膜等高精度多层光学薄膜

②镀膜品质好:配备独立镀膜腔，始终保持镀膜室的真空状态有利于保证镀膜的品质

③膜厚精准把控: 设备配套了良好的抽气系统以获得稳定的高真空，同时稳定的电源输出、高稳定性的阴极系统、高速的工件旋转系统、精密的全自动程序控制系统相结合，让镀层可在每秒获得稳定的沉积速率，实现每层镀层被精确控制，保证生产的稳定性

④硬度高:配备高能离子源，膜层反应程度高，可得到高纯化合物膜层，例如对比蓝宝石镀膜机，沉积膜层 SixNx 纯度更高，可以使得膜层硬度得到更大的提升

⑤膜层致密:磁控溅射效率高，离子源能量高，膜层质量好，膜层更致密，结合力更高，不易掉落

⑥膜层反应程度高:配备高能离子源，膜层反应程度高，可得到高纯化合物膜层

⑦膜系搭配灵活:可在线变更膜系工艺，满足不同工艺要求，节省工艺研发成本

3.生产效率高，能耗低

设备载量大，默认配套 24 块载片，有效镀膜面积高达约 8 平方米。与常规电子束蒸发光学机对比，其产能增加约 50%，能耗降低约 20%。