·一体式设计
·半导体行业专用
真空等离子清洗设备采用一体化结构，配备RF离子清洗系统，全自动化控制，操作方便，维护方便。
通过RF高频发生器，可产生高密度等离子体，对工件表面进行活化、刻蚀、灰化，有效去除产品表面灰尘及油脂，释放表面应力，使工件表面获得各种改性。
适用于橡胶、玻璃、陶瓷、金属等材质产品，应用于微电子、LCD、LED、LCM、PCB电路板、半导体封装，以及医疗器械、生命科学试验等领域。
VLY0810
φ800*H1000(mm)
设备可根据客户要求定制
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