电阻加热式蒸发源结构简单、使用方便、易于制作，是应用最为广泛的一种蒸发源。人们通常称为发热体或蒸发舟。

   ; 加热所用电阻材料的要求是:使用温度高、电阻率适宜、高温下蒸气压低，不与膜材发生化学反应，不产生放气和污染等。所选用的电阻加热材料主要来源于难熔金属，如W、Mo、Ta等材料或选用高纯、高强度石墨或氮化硼合成导电陶瓷等材料。有时，也可选用Fe、Ni、Ni-Cr 合金及 Pt等作为蒸发源材料。

    各种电阻加热式蒸发源的常用材料(如 Ti、Mo、C、Ta、W 等)的熔点和蒸气压与温度的关系曲线不同。其中钨在加热到蒸发温度时，会因加热结品而变脆。钼则会因纯度不同而有所不同，有的会变脆，有的则不会变脆。钨和水汽起反应，会形成挥发性氧化物 WO3。因此，钨在残余水汽中加热时，加热材料会不断受到损耗。残余气体压力低时,虽然材料损耗并不多，但是，它对于膜的污染是较严重的。

    采用丝状源应注意热丝对膜材的浸湿性。例如，热丝温升太快，膜材不易立刻全部熔化致使膜材与热丝浸湿不充分。从而，会使没有熔化的膜材从金属丝筐中脱落下来。同时，温升太快也会造成膜材中的气体迅速释放出来，产生气泡或发生飞溅，结果会使形成的小熔滴粘在基片上。因此，丝状源的使用应注意温度的控制。

    金属丝筐、锥形线圈或螺旋形线圈的主要缺点是支撑膜材量太小，而且这种源会随着膜材蒸发后，膜材量的减少而使热丝温度上升，从而引起蒸发速率的上升。这对要求严格控制蒸发速率的制膜工艺而言，也是一个应予注意的问题。

    (2)工作原理和结构形状及使用特点

    电阻加热式蒸发源，实际上就是电阻加热器它是利用对发热体或蒸发舟直接通电，使电流通过后产生大量焦耳热而获得高温来熔融金属膜材，使其蒸发的一种蒸发源。

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