2019 年底，全球太阳“光伏总装机量达到了616GW，预计在 2050年有望达到全球总发电量的50%。由于光伏半导体材料对光的吸收主要发生在几微米到几百微米的厚度范围且半导体材料表面对电池性能的影响非常重要，使得真空薄膜技术在太阳能电制造上有广泛应用。

    产业化的光伏电池主要分为两类: 一类为晶硅太阳能电池，另一类为薄膜太阳池。最新型的晶硅电池技术包括钝化发射极和背面电池 (PERC) 技术、异质结电池(HJT)技术、钝化发射极背表面全扩散 (PERT)技术及隧穿氧化层钝化接触 (Topcon)电池技术等。薄膜在晶硅电池中的功能主要包括钝化、减反射、P/N掺杂、导电。主流的薄膜电池技术包括碲化镉、铜铟镓硒、钙钛矿等技术。薄膜在其中主要作为光吸收层、导电层等。光伏电池中薄膜的制备较多采用了各类真空镀膜技术。

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