真空离子清洗设备的过程中，由于采用数字面板显示、逻辑电路自动控制，使得设备的操作维护非常简单，塑料、橡胶、 金属和陶瓷等材料表面的活洗、灰化、刻蚀处理、表面活化以及生命科学实验。离子束清洗刻蚀技术是在上世纪70年代的时候，由于当时固体器件正在向亚微米级线宽方向发展而随之兴起的，作为一种超精细刻蚀技术，它与机械加工、等离子体溅射、等离子体腐蚀、化学腐蚀等加工工艺相较之下，具有以下特点：

（1）加工的灵活性、重复性好。因为离子束的束流密度、入射角、能量，亦或工件台的移动、旋转速度等诸多环境参数，都可准确独立地分别进行控制，所以可针对不同工件来控制不同的加工环境参数，不仅可以控制线条边壁的斜度，还可以控制沟槽的深度根据设置函数而变。

（2）加工的分辨率高、方向性好。设备刻蚀的工件被准直的离子束在真空环境下定向进行轰击，这是一种准确的方向性刻蚀，避免了化学湿法中常见的“钻蚀现象”，刻蚀位置的边缘效果明显，既清晰又陡直，且分辨率高。可达0.01µm-0.1µm的精度，还可得到优于0.05µm的表面粗糙度。

（3）加工能力超精细。该设备刻蚀加工的沟槽图形是非常精细的，属于亚微米级和微米级的加工，还可能刻出更加精度更高的线条（0.008µm）。

（4）该设备对加工材料具有非选择性，几乎所有常见加工材料（导体、半导体、绝缘体）都可以清洗与刻蚀。